Sputtertarget aus Siliziumnitrid (Si3N4)
Sputtertarget aus Siliziumnitrid (Si3N4)

Sputtertarget aus Siliziumnitrid (Si3N4)

Ein Siliziumnitrid-Sputtertarget ist eine Art Nitridkeramik-Sputtertarget. Si3N4 ist ein hochschmelzendes Keramikmaterial, das extrem hart und chemisch relativ inert ist. Si3N4 wird durch Erhitzen von Siliziumpulver auf 1300 bis 1400 Grad in einer Stickstoffatmosphäre hergestellt.
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Produktbeschreibung

 

Ein Siliziumnitrid-Sputtertarget ist eine Art Nitridkeramik-Sputtertarget. Si3N4 ist ein hochschmelzendes Keramikmaterial, das extrem hart und chemisch relativ inert ist. Si3N4 wird durch Erhitzen von Siliziumpulver auf 1300 bis 1400 Grad in einer Stickstoffatmosphäre hergestellt. Anschließend kann das Siliziumnitridpulver in die gewünschte Form gesintert werden. Ein Siliziumnitrid-Sputtertarget wird für die Dünnschichtabscheidung verwendet.

 

Produktname

Siliziumnitrid-Sputtertarget

Verfügbare Reinheit

99,9 % min., auf Anfrage

Verfügbare Form

rund, rechteckig, Pellets

Größe

Verhandelbar

Technologie

Pulvermetallurgie

Anwendung

Vakuumbeschichtung, Prozess, Dekoration, LED, Semi,

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