Sputtertarget aus Titan (Ti)

Das Titan-Sputtertarget besteht aus Titanmetall. Titan ist als Metall für sein hohes Verhältnis von Festigkeit zu Gewicht bekannt. Es ist ein starkes Metall mit geringer Dichte, das recht dehnbar (insbesondere in einer sauerstofffreien Umgebung), glänzend und metallisch weiß ist. Der relativ hohe Schmelzpunkt (über 1.650 Grad oder 3.000 Grad F) macht es als feuerfestes Metall nützlich. Es ist paramagnetisch und hat eine relativ geringe elektrische und thermische Leitfähigkeit.

Titan-Sputtertargets und Lichtbogenkathoden in Industriequalität werden für dekorative Beschichtungen verwendet, um goldene, gelbe und goldgelbe Farben abzuscheiden. Mit bis zu 99,7 % Reinheit, gleichmäßiger Korngröße und geringerem Gasgehalt kann der Endverbraucher über einen sehr langen Zeitraum eine gute Härte, hohe Helligkeit sowie korrosions- und oxidationsbeständige Farbe ohne Verfärbung und Anlaufen erzielen. Wir liefern Titan-Sputtertargets oder Titan-Lichtbogenkathoden für Hersteller von Uhren, Sanitärartikeln, Autospiegeln usw., die für verschiedene Magnetron-Sputtermaschinen und Ionenbeschichtungsmaschinen geeignet sind.

Hochreine Titan-Sputtertargets mit einer Reinheit von bis zu 99,999 % werden üblicherweise für integrierte Schaltkreise, DRAMs und Flachbildschirme verwendet. Wenn LSI-, VLSI- und ULSI-Leitungsnetze mit hochreinem Titan gesputtert werden, können diese integrierten Komponenten leicht, dünn, klein und dicht verdrahtet hergestellt werden. Hochreine Titantargets können auch als Barrieremetallmaterial verwendet werden.

TiAlV-Sputtertarget

WTi-Sputtertarget

TiAl-Sputtertarget

TiSi-Sputtertarget

NbTi-Sputtertarget

NiTi-Sputtertarget

CuTi-Sputtertarget

VTi-Sputtertarget

TiCr-Sputtertarget

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