Ruthenium (Ru) Sputtertarget

Das Ruthenium-Sputtertarget ist ein graues Target aus hochreinem Ruthenium. Ruthenium ist ein chemisches Element mit dem Symbol Ru und der Ordnungszahl 44. Es ist ein seltenes Übergangsmetall aus der Platingruppe des Periodensystems. Wie die anderen Metalle der Platingruppe ist Ruthenium gegenüber den meisten anderen Chemikalien inert. Ruthenium kommt normalerweise als Nebenbestandteil von Platinerzen vor. Die meisten Rutheniumprodukte werden in verschleißfesten elektrischen Kontakten und Dickschichtwiderständen verwendet.

Ruthenium-Sputtertargets werden zum Abscheiden dünner Ru-Filme verwendet, die ein wichtiger Zwischenfilm in der Struktur von Mehrschichtfilmen mit senkrechter magnetischer Aufzeichnung sind. Im magnetischen Aufzeichnungsmedium spielt es hauptsächlich eine Rolle bei der Reduzierung der Gitterfehlanpassungsspannung zwischen den oberen und unteren Schichten, der Erhöhung der thermischen Stabilität und der Rauschreduzierung.

Als Funktionsfilm werden dünne Filme aus Ruthenium und Rutheniumlegierungen häufig in der magnetischen Aufzeichnungs- und Halbleiterindustrie eingesetzt.

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