Sputtertarget aus Molybdändisulfid (MoS2)

MoSi2 hat eine tetragonale Struktur. Es ist eine Zwischenphase mit dem höchsten Siliziumgehalt im binären Mo-Si-Legierungssystem. Es ist eine intermetallische Dalton-Verbindung mit einer festen Zusammensetzung, grauem und metallischem Glanz. Es hat eine gute elektrische und thermische Leitfähigkeit, ausgezeichnete mechanische Eigenschaften und eine hohe Oxidationsbeständigkeit und kann als Heizelement mit einer Leistung verwendet werden, die die von Siliziumkarbid übertrifft. Seine frühe Anwendung war als hochtemperatur- und korrosionsbeständiges Beschichtungsschutzmaterial für die Oberfläche von Metallsubstraten. Es wurde erstmals in Beschichtungen für Gasturbinenteile, Brennkammern von Strahltriebwerken und Raketenbrennkammern verwendet. Heute liegt die wichtigste industrielle Produktanwendung von Molybdändisilizidmaterialien in der Herstellung von Hochtemperatur-Heizelementen und Thermoelement-Schutzrohren.

Molybdändisilizid wird in oxidationsbeständigen Hochtemperatur-Beschichtungsmaterialien, elektrischen Heizelementen, integrierten Elektrodenfilmen, Strukturmaterialien, Verbundwerkstoffverstärkungen, verschleißfesten Materialien, strukturellen keramischen Verbindungsmaterialien und anderen Bereichen verwendet und in den folgenden Branchen vertrieben:

Energie- und Chemieindustrie: elektrische Heizelemente, Hochtemperatur-Wärmetauscher für Atomreaktoren, Gasbrenner, Hochtemperatur-Thermoelemente und deren Schutzrohre, Schmelzgefäße und Tiegel (zum Schmelzen von Metallen wie Natrium, Lithium, Blei, Wismut und Zinn).

Mikroelektronikindustrie: MoSi2 und einige andere feuerfeste Metallsilizide wie Ti5Si3, WSi2 und TaSi2 sind wichtige Kandidatenmaterialien für Gates von integrierten Schaltkreisen im großen Maßstab und Verbindungsleitungsfilme.

Luft- und Raumfahrtindustrie: Als oxidationsbeständiges Beschichtungsmaterial für hohe Temperaturen wurde es umfassend untersucht und angewendet. Insbesondere wird es als Material für Turbinentriebwerkskomponenten wie Schaufeln, Laufräder, Brenner, Heckdüsen und Dichtungsvorrichtungen verwendet.

Automobilindustrie: Rotoren, Ventilkörper, Zündkerzen und Motorteile für Autoturbinenmotor-Kompressoren.

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