Ersatzteile für die Mo-Ionenimplantation

Die Ionenimplantation ist eine sehr wichtige Technologie in der modernen Herstellung integrierter Schaltkreise. Dabei wird eine Ionenimplantationsmaschine verwendet, um Halbleiter zu dotieren. Dabei wird Wolframdraht als Kathode verwendet, um Elektronen abzugeben und Gasmoleküle mit bestimmten Verunreinigungselementen zu bombardieren. Dadurch entstehen ionisierte, bestimmte Verunreinigungsatome, die durch ein elektrostatisches Feld beschleunigt werden und auf die Oberfläche eines Silizium-Einkristallwafers treffen. Anschließend werden sie in den Halbleiter implantiert, um die Leitfähigkeitseigenschaften zu ändern und schließlich eine Transistorstruktur zu bilden.

Aufgrund der stabilen chemischen Eigenschaften bei hohen Temperaturen, der geringen thermischen Verformung und der langen Lebensdauer von Wolfram-Molybdän-Materialien bestehen die Ionenquellenkomponenten und Verbrauchsmaterialien von Ionenimplantationsmaschinen in der Halbleiterindustrie meist aus Wolfram- und Molybdän-Materialien. Diese Geräte umfassen Abschirmrohre für emittierende Elektronenkathoden, Emissionsplatten, zentrale Befestigungsstangen und Drahtplatten in der Lichtbogenkammer. Wir bezeichnen sie zusammenfassend als Wolframteile für Ionenimplantation und Molybdänteile für Ionenimplantation.

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