Nickel-Chrom-Aluminiumlegierungen sind eine Klasse funktionaler Targetmaterialien, die eine hohe-Temperaturstabilität, Oxidationsbeständigkeit und eine hervorragende Sputterleistung aufweisen. Sie werden häufig bei der Herstellung von Hochtemperatur-Schutzbeschichtungen, verschleißfesten Beschichtungen, Halbleiterdünnfilmen und Sensorelektroden verwendet. Zu den Kernanforderungen für ihre Herstellung gehören die Gleichmäßigkeit der Zusammensetzung, eine hohe Dichte (größer oder gleich 98 % der theoretischen Dichte), eine feinkörnige Mikrostruktur und ein geringer Gehalt an Verunreinigungen (O, C, N usw., weniger als oder gleich 500 ppm), um eine stabile Filmzusammensetzung und eine gleichmäßige Abscheidungsrate während des Sputterprozesses sicherzustellen.
Herstellungsverfahren für Sputtertargets aus Nickel-Chrom-Aluminiumlegierung
Vorpressen: Das gemischte Pulver wird in eine Graphitform gefüllt und in einem Heißpressofen zu einer Vorform geformt.
Drei-Heißpressen und Sintern:
Erste Stufe: Abschluss der Entgasung und Vorsinterung;
Zweite Stufe: Förderung des Legierens;
Dritte Stufe: Erreichen der vollständigen Verdichtung (relative Dichte > 99 %) und Kornverfeinerung, wodurch ein Barren entsteht, der nahe an der theoretischen Dichte liegt.
Anwendungsfälle für Sputtertargets aus Nickel-Chrom-Aluminiumlegierung
Luft- und Raumfahrtindustrie: Die thermische Korrosionsbeständigkeit der Komponenten wurde verbessert und die Lebensdauer erhöht, wenn sie als Wärmedämmschicht in Flugzeugtriebwerken und als Schutzbeschichtung auf Turbinenschaufeln und anderen Triebwerkskomponenten geklebt wurden.
Energieausrüstungsindustrie: Schutzbeschichtungen auf Gasturbinenschaufeln und anderen Komponenten nuklearer Schutzausrüstung. Auch thermische Kessel in Kernkraftwerken verfügen über Schutzbeschichtungen. Gewährleistet einen stabilen Gerätebetrieb in Umgebungen mit hohen-Temperaturen.
Elektronikindustrie: Kann zur Herstellung von Widerstandsdünnfilmen, Schutzschichten für elektronische Komponenten usw. verwendet werden, wobei sein hoher spezifischer Widerstand und seine stabilen physikalischen und chemischen Eigenschaften genutzt werden, um die Leistungsanforderungen elektronischer Komponenten zu erfüllen.
Herstellung von Industrieanlagen: Kann als Schutzbeschichtung für Rollen von Wärmebehandlungsöfen, hitzebeständige Auskleidungen für chemische Reaktoren, Oberflächenverstärkung von Glasformen usw. verwendet werden, um die Verschleißfestigkeit und Korrosionsbeständigkeit von Industrieanlagen zu verbessern.
Dekorativer Bereich: Wird zur Oberflächenbehandlung von Schmuck, Uhren, Mobiltelefonen und anderen Produkten verwendet, um eine schöne dekorative Beschichtung zu bilden und gleichzeitig Schutz zu bieten.
