Produktbeschreibung
Wolframschiffchen werden für Verdampfungsprozesse bevorzugt, da Wolfram einen sehr hohen Schmelzpunkt (über 3400 Grad) hat und somit den hohen Temperaturen standhält, die zum Verdampfen vieler Materialien erforderlich sind. Darüber hinaus ist Wolfram relativ inert, d. h. es reagiert nicht mit den meisten verdampften Materialien, was die Reinheit im Dünnschichtabscheidungsprozess gewährleistet.
Ein Wolframschiffchen ist ein häufig verwendetes Werkzeug bei Dünnschichtabscheidungsprozessen, insbesondere bei physikalischen Gasphasenabscheidungsverfahren (PVD) wie der thermischen Verdampfung. Es handelt sich im Wesentlichen um einen schiffchenförmigen Behälter aus Wolfram, einem Metall, das für seinen hohen Schmelzpunkt und seine Hitze- und Korrosionsbeständigkeit bekannt ist.
Anwendung
Beladung: Das zu verdampfende Material wird in das Wolframschiffchen gegeben. Dieses Material kann je nach gewünschter Dünnschichtzusammensetzung alles von Metallen bis hin zu Keramik sein.
Erhitzen: Das Wolframschiffchen wird erhitzt, normalerweise durch elektrischen Widerstand oder indem ein hoher Strom hindurchgeleitet wird. Dadurch erhitzt sich das Material im Inneren und erreicht schließlich seinen Verdampfungspunkt.
Verdampfung: Sobald das Material seinen Verdampfungspunkt erreicht, verwandelt es sich in Dampf, der vom Boot aufsteigt. Der Dampf kondensiert dann auf einem über dem Boot platzierten Substrat und bildet einen dünnen Film.
Größe des Wolframboots
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Symbol der Produkte |
Größe (mm) |
Troglänge (mm) |
Trogtiefe (mm) |
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210 |
0.2*10*100 |
50 |
2 |
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215 |
0.2*15*100 |
50 |
7 |
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216 |
0.2*25*118 |
80 |
10 |
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308 |
0.3*8*100 |
50 |
2 |
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310 |
0.3*10*100 |
50 |
2 |
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310 |
0.3*10*70 |
40 |
1.8 |
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312 |
0.3*12*100 |
50 |
2 |
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313 |
0.3*13*49 |
33 |
3.3 |
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315 |
0.3*15*100 |
50 |
7 |
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316 |
0.3*16*100 |
50 |
4 |
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318 |
0.3*18*100 |
40 |
3.5 |
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514 |
0.5*14*100 |
50 |
2.6 |
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515 |
0.5*15*100 |
50 |
2.6 |
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