Tantal-Sputtertargetscheibe
Tantal-Sputtertargetscheibe

Tantal-Sputtertargetscheibe

Tantal-Sputtertargets werden hauptsächlich in der Halbleiterindustrie und der optischen Beschichtungsindustrie eingesetzt. Auf Anfrage von Kunden aus der Halbleiterindustrie und der optischen Industrie fertigen wir Tantal-Sputtertargets in verschiedenen Spezifikationen im Vakuum-EB-Ofen-Schmelzverfahren.
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Produktbeschreibung

 

Tantal-Sputtertargets werden hauptsächlich in der Halbleiterindustrie und der optischen Beschichtungsindustrie eingesetzt. Auf Anfrage von Kunden aus der Halbleiterindustrie und der optischen Industrie fertigen wir Tantal-Sputtertargets in verschiedenen Ausführungen im Vakuum-EB-Ofen-Schmelzverfahren. Wir produzieren Tantal-Sputtertargets in verschiedenen Größen, wie Scheibentargets, rechteckige Targets und rotierende Targets.

 

Spezifikation

 

Wir produzieren R05200- und R05400-Targets, die dem ASTM B708-Standard entsprechen, und wir können Targets gemäß Ihren bereitgestellten Zeichnungen herstellen. Unter Ausnutzung unserer hochwertigen Tantalbarren, unserer modernen Ausrüstung, unserer innovativen Technologie und unseres professionellen Teams können wir Ihre gewünschten Sputtertargets maßschneidern.

 

Merkmale

 

Tantalstab, Reinheit 99,95 % 99,95 %, ASTM B365-98
Klasse: RO5200, RO5400
Herstellungsstandard: ASTM B365-98

 

Spezifikation

 

Metallische Verunreinigungen, ppm max. nach Gewicht, Rest - Tantal

Element

Fe

Mo

Nr.

Ni

Si

Ti

W

Inhalt

100

200

1000

100

50

100

50

 

Mechanische Eigenschaften

Durchmesser (mm)

Φ3.18-63.5

Zugfestigkeit (MPa)

172

Streckgrenze (MPa)

103

Dehnung (%, 1-in Messlänge)

25

 

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