Invar -Legierung: Fahren innovation in der Herstellung von Halbleiter fahren
Da die Herstellung von Halbleiter weiterhin zu feineren Knoten voranschreitet, zeigt die Invar -Legierung (auch als Invar bezeichnet) einen beispiellosen innovativen Anwendungswert im Bereich der Chipherstellung. Mit seiner einzigartigen thermischen Stabilität und mechanischen Eigenschaften wird die Invar -Legierung zu einem der wichtigsten Materialien, die fortschrittliche Semiconductor -Herstellungsprozesse unterstützen.
Die Wafer -Inspektionstechnologie hat auch von der Anwendung von Invar -Legierung profitiert. Hersteller von Branchenleitungsmessgeräten haben Inspektionsplattformen entwickelt, die auf einer ultra-niedrigen Expansions-Invar-Legierung (4J36) basieren, deren thermische Stabilität mehr als fünfmal höher ist als die der herkömmlichen Materialien. Während einer umfassenden Inspektion von 3 0 0mm Wafern können diese Plattformen Messfehler reduzieren, die durch Temperaturschwankungen auf unter 0,1 nm verursacht werden, wodurch die Funktionskontrollfähigkeiten der Prozesse erheblich verbessert werden.
Im Ablagerungsprozess für Dünnscheide hat die Invar-Legierung einzigartige Vorteile gezeigt. Die neueste Ausrüstung für physische Dampfablagerung (PVD) verwendet die Komponenten der Vakuumkammer von Invar Alloy, die nicht nur eine bessere Vakuumversiegelungsleistung erzielen, sondern auch den Ausrüstungswartungszyklus aufgrund seines hohen Temperaturwiderstandes um 30% erweitern. Die Reaktionskammer-Stützstrukturen der CVD-Geräte (Chemical Dampor Deposition) nehmen auch zunehmend eine Invar-Legierung ein und reduzieren effektiv thermische Deformationsprobleme in Hochtemperaturprozessen.
Branchenexperten sagen, dass die innovativen Anwendungen der Invar -Legierung im Bereich der Semiconductor -Produktion gerade erst begonnen haben. Da sich Halbleiterprozesse weiterentwickeln, wird dieses funktionelle Material mit außergewöhnlicher Stabilität eine unersetzliche Rolle bei kritischeren Prozessschritten spielen, was die Förderung der Chipherstellungstechnologie solide unterstützt.
