Sputtertargets aus Nickel-Kobalt--Eisenlegierungen enthalten bestimmte Anteile an Nickel (Ni), Kobalt (Co) und Eisen (Fe). Diese Legierungen werden zu planaren oder rotierenden Sputtertargets verarbeitet und in der Halbleiter-, Photovoltaik-, Präzisionsoptik- und Funktionsbeschichtungsindustrie eingesetzt. Die Herstellung dieser Legierungen ist spezifisch und erfordert Liebe zum Detail, um eine gleichmäßige chemische Zusammensetzung, Festkörperdichte, gleichmäßige Körnung und Qualität der Oberflächen zu erreichen.
Herstellungsverfahren für Sputtertargets aus Nickel-Kobalt-Eisenlegierungen
Schmelzen des Rohmaterials: Die hochreinen Nickel-, Kobalt- und Eisenblöcke werden dosiert und in den Vakuum-Induktionsschmelzofen gegeben. Die Materialien werden unter Vakuum erhitzt, bis sie vollständig geschmolzen sind, und gerührt, um eine Entmischung der Zusammensetzung zu verhindern.
Gießen und Formen: Eine geschmolzene Nickel-Kobalt-Eisen-Legierung wird in eine Graphitform gegossen und abgeschreckt, um einen Legierungsbarren zu erhalten und die Bildung grober Körner zu verhindern.
Schmieden und Walzen: Die Legierungen werden Hochtemperatur-Schmiede- und Warmwalzprozessen unterzogen, um die Gussstruktur aufzubrechen.
Bearbeitung und Verbindung: Das Nickel-Kobalt--Eisen-Legierungsmaterial wird in Form gesägt-zugeschnitten und synthetisiert.
Verwendungsmöglichkeiten von Sputtertargets aus Nickel-Kobalt-Eisenlegierungen
Integrierte Schaltkreise, wo es für Cu-Diffusionsbarriereschichten, Ta/CoFe-Doppelschichtelektroden und freie Schichten mit magnetischen Tunnelkontakten (MTJs) verwendet wird.
Dünnschichtsolarzellen, bei denen sie als Rückelektrode oder Pufferschicht dienen, um den ohmschen Kontakt und die Witterungsbeständigkeit zu verbessern.
MEMS und Sensoren, wo es bei der Herstellung von verlustarmen Induktoren, magnetischen Abschirmschichten und mikro{1}magnetischen Aktoren verwendet wird.
Oberflächenfunktionsbeschichtungen, bei denen es als verschleißfeste, korrosionsbeständige und dekorative Beschichtung für Automobilteile, Befestigungselemente für die Luft- und Raumfahrt sowie biomedizinische Implantate verwendet wird.
