Sputtertargets aus Nickel-Chrom-Aluminium-Eisenlegierungen sind hauptsächlich Nickel-basierte Mehrkomponenten-Sputtertargets aus Legierungen, die Nickel, Chrom, Aluminium und Eisen enthalten. Sie werden bei der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) zur Herstellung funktioneller Dünnschichten eingesetzt. Targets aus dieser Legierung verfügen über eine hohe Temperaturstabilität, Oxidationsbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und eine hervorragende Sputterleistung, die in den Bereichen Luft- und Raumfahrt, Energieausrüstung, elektronische Geräte und industrielle Schutzbeschichtungen erforderlich sind.
Herstellungsprozess für Sputtertargets aus Nickel-Chrom-Aluminium-Eisenlegierung
Vorbereitung der Rohstoffe: Fe, Al, Cr und Ni von hoher Reinheit (größer oder gleich 99,95 %) werden gemäß dem für die Legierungszusammensetzung festgelegten Verhältnis ausgewählt und abgewogen (z. B. Ni:Cr:Al:Fe=74:20:3:3, das je nach den anderen Komponenten variiert werden kann). Der Schutz von Aluminium kann auch zum Schutz vor Oxidation verwendet werden, wenn er zuletzt aufgetragen wird.
Vakuuminduktionsschmelzen: Beschickungsmaterialien werden in einen Vakuuminduktionsofen gegeben und auf eine Zieltemperatur erhitzt, die hoch genug ist, um ein vollständiges Schmelzen der Beschickungsmaterialien zu bewirken. Die Temperatur der Schmelze wird bei dieser Temperatur äquilibriert, um eine vollständige Legierung zu unterstützen. Der Ofen wird mit Argon gespült und anschließend mit einem schützenden Inertgas aufgefüllt. In diesem Schmelz- und Legierungsschritt wird die Schutzgasatmosphäre genutzt, um den Erhalt einer homogen mikrostrukturell und zusammensetzungsmäßig legierten Schmelze zu fördern.
Gießen und Homogenisierungsglühen: Die Schmelze wird in eine vorgefertigte Form gegossen und abgekühlt, um einen Barren zu erhalten. Nach dem Abkühlen wird ein Homogenisierungsglühen durchgeführt, um Zusammensetzungsseigerung und Gussspannungen zu beseitigen.
Warmbearbeitung und Endbearbeitung: Der Barren wird geschmiedet, warm-gewalzt und auf die gewünschte Dicke ausgedünnt. Anschließend wird eine Mischkristall-/Glühbehandlung durchgeführt, gefolgt von der Bearbeitung auf die endgültigen Zielabmessungen mit einer Oberflächenrauheit Ra kleiner oder gleich 1,6 μm.
Anwendungen von Sputtertargets aus Nickel-Chrom-Aluminium-Eisenlegierungen
1. Bietet Schutz vor thermischer Korrosion und Oxidation bei hohen Temperaturen und wird für Wärmedämmschichten, Verbindungsschichten und Schutzbeschichtungen für Hochtemperaturkomponenten, -Kernkraft-Schutzbeschichtungen, Gasturbinenschaufeln, Kraftwerkskesselrohre und Flugtriebwerkskomponenten (Turbinenschaufeln, Brennkammern, Hot-{3}}-Endkomponenten) verwendet.
2. Wird für Schutzbeschichtungen und Hochtemperatur-Gasturbinen, Kernkraftwerke, Flugtriebwerke, Hochtemperatur-Brennkammern, Schutzbeschichtungen und Gasturbinenschaufeln, Kraftwerksbooster und Überzüge für Wärmedämm-Verbrennungsmodule verwendet.
3. Industrielle Schutzbeschichtungen und dekorative Beschichtungen (einschließlich Verschleiß- und Korrosionsschutzbeschichtungen, dekorative Beschichtungen, Schutzbeschichtungen für dekorative Mobiltelefone, Schutzbeschichtungen für Schmuck, Schutzbeschichtungen für dekorative Uhren, dekorative Beschichtungen für schützende Schmuckstücke für Mobiltelefone, Uhren, dekorative Schutzbeschichtungen für Mobiltelefone, Schmuck, Uhren, dekorative Schutzbeschichtungen für Mobiltelefone, Schmuck, Uhren, dekorative Schutzbeschichtungen für Mobiltelefone, Schmuck, Uhren, dekorative Schutzbeschichtungen für Mobiltelefone, Schmuck, Schmuck, Uhren) Beschichtungen, die Schutzkleidung und dekorative Beschichtungen für mobile Schmuckuhren, Wärmedämmschichten, mobile Schmuckuhren bieten.
