Das Sputtertarget aus Molybdän-Nickel-Legierung ist ein Legierungstarget aus Molybdän und Nickel, das viele positive Eigenschaften aufweist und in verschiedenen Abmessungen hergestellt werden kann, um die Sputterbeschichtung in verschiedenen Branchen zu ermöglichen. Ziele aus Nickel-Molybdänlegierungen sind Materialien, die in einem Hochvakuum mit physikalischen Dampfabscheidungsverfahren (hauptsächlich Magnetronsputtern) bombardiert werden, wobei die Atome oder Moleküle zerstäubt und auf einem Substrat (wie Glas, Siliziumwafern oder Kunststoffen) abgeschieden werden, wodurch eine dünne, gleichmäßige Nickel-Molybdänlegierungsschicht entsteht. Molybdän-Nickellegierungen weisen eine gute Korrosionsbeständigkeit in einer Vielzahl chemischer Umgebungen auf, wodurch die abgeschiedenen Filme eine lange Lebensdauer haben und unter verschiedenen Arbeitsbedingungen stabil sind und auch weniger leistungsschädigende Verschlechterungen aufgrund von Korrosion aufweisen. In einem bestimmten Bereich können die physikalischen Eigenschaften der Legierung, einschließlich Härte, spezifischer Widerstand usw., variiert werden, um den spezifischen Anforderungen des Versuchs gerecht zu werden, sodass die Eigenschaften des gesputterten Films auf verschiedene Einsatzbedingungen genau abgestimmt werden können.
Die Herstellungstechnologie von Nickel-Molybdän-Legierungs-Targets
Vorbereitung des Rohmaterials: Wählen Sie hochreine Nickelpulver (Reinheit größer oder gleich 99,95 %) und Molybdänpulver (Reinheit größer oder gleich 99,95 %) aus und messen Sie deren Gewichte sorgfältig für die Ziellegierungszusammensetzung (z. B. Ni-10Mo, Ni-20Mo usw.).
Formen: Die bevorzugte Methode ist das kaltisostatische Pressen. Die gemischten Pulver werden in eine elastische Form gegeben und in einem Bereich von 150-200 MPa gepresst, um einen Rohling mit der gewünschten Festigkeit herzustellen. Der Rohling wird in einen vakuum- oder wasserstoffgeschützten Ofen gegeben und im Bereich von 1000–1200 Grad vorgesintert. Der Zweck besteht darin, die restlichen interstitiellen Gase der Pulver zu entfernen, die Legierungsphase zu bilden und die Dichte des Rohlings zu verbessern.
Heißpressen des Sinterns: Sintern unter Vakuum für 2–4 Stunden bei einem Druck von 30–50 MPa und einer Temperatur von 1200–1400 Grad. Der hohe Druck bei hoher Temperatur erleichtert die Bindung der Partikel und wird zu diesem Zeitpunkt für den Prozess benötigt.
Bearbeitung: Der gesinterte Rohling wird in die vom Kunden geforderten präzisen Abmessungen und Formen bearbeitet, und die Schweißfläche mit der Rückplatte weist garantiert eine extrem hohe Ebenheit und Glätte auf.
Anwendungen von Sputtertargets aus Nickel-Molybdänlegierungen
Dünnschicht-Solarzellen: Werden als Rückkontakte in Dünnschicht-Solarzellen wie CIGS (Kupfer-Indium-Gallium-Selenid) verwendet.
Halbleitersektor: Wird als Diffusionsbarriereschicht verwendet, um die Interdiffusion verschiedener Metallschichten (z. B. schädliche Silizide und Kurzschlüsse in Kupferverbindungen und Siliziumsubstraten) zu verhindern (und zu verhindern).
Dekorative und schützende Beschichtungen: Hervorragende Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit. Filme aus Nickel-Molybdänlegierungen können auf Oberflächen verschiedener Gegenstände wie Uhren, Brillen, Badezimmerarmaturen, Autoteilen usw. abgeschieden werden. Dadurch werden sie geschützt und erhalten außerdem einen metallischen Glanz und ein glänzendes, ansprechendes Aussehen.
Beschichtungen für Korrosionsbeständigkeit: Bieten Schutz vor chemischer Korrosion und Verschleiß für empfindliche Komponenten in der Chemie- und Schiffstechnik sowie in medizinischen Geräten.
