Eigenschaften des FeCrAl-Targets
FeCrAl-Zielform: Planare Ziele; benutzerdefinierte-geformte Ziele. FeCrAl-Zielreinheit: 3N. FeCrAl-Zielabmessungen: Nach Zeichnungen bearbeitet oder nach Spezifikationen angepasst.
Vorbereitungsmethode für Sputtertargets aus Eisen-Chrom-Aluminiumlegierung
Rohmaterialvorbereitung und Pulvermischung: Hoch-reine Eisen-, Chrom- und Aluminiumpulver werden entsprechend dem angestrebten Zusammensetzungsverhältnis ausgewählt und abgewogen. Um die Oxidation des Aluminiumpulvers zu verhindern, wird der gesamte Mischvorgang in einer Inertgasatmosphäre (z. B. Argon) durchgeführt.
Manteldesign und Einkapselung: Basierend auf den Endabmessungen, die für das Sputtertarget erforderlich sind, wird ein Metallmantel entworfen, und das gemischte Legierungspulver wird in diesen Mantel geladen.
Entgasungsbehandlung: Die mit Pulver-gefüllte Umhüllung wird einem Hochtemperatur-Vakuum-Entgasungsprozess unterzogen, um Gase zu entfernen, die in den Zwischenräumen des Pulvers adsorbiert sind. Dieser Schritt ist entscheidend für die Sicherstellung der Dichte des endgültigen Targetmaterials.
Heißisostatisches Pressen (HIP): Die versiegelte Umhüllung wird in einen Heißisostatischen Pressofen gegeben, wo das Pulver unter der kombinierten Wirkung von hoher Temperatur und immensem, gleichmäßigem Druck direkt verfestigt wird, um einen dichten Zielbarren zu bilden.
Bearbeitung: Mithilfe verschiedener mechanischer Bearbeitungstechniken-wie Drehen und Fräsen- wird der Barren zum endgültigen Sputterzielprodukt bearbeitet, das alle festgelegten Maß- und Präzisionsanforderungen erfüllt.
Anwendungen von Sputtertargets aus Eisen-Chrom-Aluminiumlegierungen
Luft- und Raumfahrt: Turbinenschaufeln von Triebwerken, Haftschichten für Wärmedämmschichten in Brennkammern; Bietet Widerstand gegen Hochtemperaturoxidation und Heißkorrosion.
Energie und Energie: Kesselwasserwände, Gasturbinen und Hochtemperaturkomponenten in Kernkraftwerken; dient als -Korrosions- und Verschleißschutz-Beschichtung.
Industrieausrüstung: Rollen für Wärmebehandlungsöfen, Glasformen und Innenauskleidungsbeschichtungen für chemische Reaktoren.
Elektronik/Sensoren: Diffusionsbarriereschichten, Elektroden, Dehnungsmessstreifen und magnetische Dünnfilme.
Bei der Verwendung als „Targetmaterialien“ nehmen Fe-Cr-Al-Legierungstargets die Form flacher Platten oder rotierender Rohre mit bestimmten Abmessungen an; Sie unterliegen äußerst strengen Anforderungen an die Reinheit des Materials, die Dichte und die Gleichmäßigkeit ihrer inneren Mikrostruktur, um den Anforderungen der Präzisionsabscheidung durch Magnetronsputtern gerecht zu werden.
